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▲漢微科今(9)舉辦南科新廠啟用典禮,新廠年產能可達150台,足以因應市場所需。圖左為執行長招允佳,圖右董事長許金榮。(圖/記者高振誠攝)

記者高振誠/台北報導

半導體電子束設備廠漢微科(3658)今(9)舉辦南科新廠啟用典禮,新廠年產能達150台,應付未來產能所需無虞。董事長許金榮表示,目前手上訂單能見度約50~60台,依照現階段來看,今年預計還是以主力機種eScan500銷售情況最佳,另外,10nm製程設備也開始出貨,未來將視客戶需求進行產能調配,實值貢獻將逐月展現。

許金榮指出,去(2014)年很多業績貢獻來自於1nm(奈米)研發端,包括16、14以及10nm發展,其中1nm佔比由前(2013)年的13?到去年的27?年增需求達1.8倍。許金榮認為,1nm製程世代也已經從研發階段走入量產時程,很多客戶都會要求漢微科提供生產線檢測解決方案,這個部分將會在今年第2季開始擴大出貨。

另外,執行長招允佳也指出,隨著半導體已進入1nm先進製程,相較光學檢測所面臨技術升級瓶頸,市場對電子束檢測設備依賴度也逐年增加,看好未來5年產業將朝高成長發展方向,預計到了2020年電子束檢測設備的市場滲透率將突破50?

▲漢相機 120微科董事長許金榮。(圖/記者高振誠攝)

事實上,成立17年的漢微科,早期從矽谷的研發實驗室,到新竹的廠辦,全部都是用承租方式,南科新廠啟用之後,不僅營運將展現全新風貌,擴大市場影響力,經濟規模也將跟著放大。招允佳提到,漢微科的電子束能超越市場同業,並在眾多競爭對手當中走出1條「別人想學,卻學不來的路」,致勝關鍵在於總是走在最前面,當市場主流停在20、16奈米xnm,事實上,漢微科10nm去年就已經開始出貨給客戶。

招允佳進一步表示,將來電子束應用將不僅侷限於檢測方面,同時更要朝更多元的領域開發應用,對漢微科本身來說,從去年第4季推出的eP4,今年第1季已開始出貨,最新2款VectorScan新機,將陸續在今年第2季、第3季開始出貨,至於多槍電子束(Multi-colum)則計畫於年底推出,新品推出藍圖可說是一波接著一波。

南科新廠總共高8層樓,樓地板面積約1萬坪,1、2樓特別設計挑高空間,可容納56座機台進行組建,至於3樓部分,則負起E-beam生產製造基地,新廠年產能合計可達150台,除一般性採購之外,絕大部分零件均在台灣與當地廠商合作,並由漢微科自行組裝、測試及產出銷售,自製率達80?

▲漢微科董事長許金榮。(圖/記者高振誠攝)

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